1．スパッタリングに関による問題点：藤井　寛一・・・1

2．スパッタリング現象：清水　　肇・・・4

3．スバッタにおける基板上の現象と薄膜の特性：小林　春洋・・・21

3．スパッタリングの応用：細川　直吉・・・33

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昭和61年度第1回委員会議事録・・・46

昭和61年度第2回委員会議事録・・・47