放電学会誌「放電研究」

「放電研究」第１２７号 (平成２年２月) 目　　　　　次研究組織

1章　総論:堺　　孝夫・・・1
2章プラズマ基礎
2．1　活性種の発生

　　2．1．1 酸素原子・イオン発生:真壁　利明,有門　常敏・・・3

　　2．1．2　窒素原子・イオン発生:生田　信皓,夏井　健一,五井野陽一・・・15

　　2．1．3　O3の発生:近藤　芳孝,吉田　公策,山部　長兵衛,杉光　英俊・・・28

　　2．1．4　N2の発生:田頭　博昭,八木　重典・・・47

　　2．1．5　0－N－X系の発生と制御:嶋森洋,小田　哲治,難波　敬典,八木　重典・・・58

　　2．2　基礎定数

　　2．2．1　電子衝突断面積:林真・・・72

　　2．2．2　イオン衝突過程:嶋森　洋・・・77

　　2．2．3　反応速度定数:杉光　英俊・・・87
3章リアクタ反応の素過程と診断
3．1 高密度分子性媒体中における電子・イオン再結合過程:籏野　嘉彦・・・92
3．2 分光観測による放電プラズマの診断：N2ガスとSF6ガス:菅ノ又伸治,石川　稜威男,尾崎　英礼・・・101
3．3 プロセスプラズマの分光計測:蛙原　健治・・・106
3．4 RF放電プラズマの診断とモデリング:真壁　利明・・・111　