「放電研究」 第127号 (平成2年2月)

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研究組織


1章 総論:堺  孝夫・・・1
2章 プラズマ基礎
2.1 活性種の発生
  2.1.1 酸素原子・イオン発生:真壁 利明,有門 常敏・・・3
  2.1.2 窒素原子・イオン発生:生田 信皓,夏井 健一,五井野陽一・・・15
  2.1.3 O3の発生:近藤 芳孝,吉田 公策,山部 長兵衛,杉光 英俊・・・28
  2.1.4 N2の発生:田頭 博昭,八木 重典・・・47
  2.1.5 0-N-X系の発生と制御:嶋森 洋,小田 哲治,難波 敬典,八木 重典・・・58
  2.2 基礎定数
  2.2.1 電子衝突断面積:林 真 ・・・72
  2.2.2 イオン衝突過程:嶋森 洋 ・・・77
  2.2.3 反応速度定数:杉光 英俊・・・87
3章 リアクタ反応の素過程と診断
3.1 高密度分子性媒体中における電子・イオン再結合過程:籏野 嘉彦・・・92
3.2 分光観測による放電プラズマの診断:N2ガスとSF6ガス:菅ノ又伸治,石川 稜威男,尾崎 英礼・・・101
3.3 プロセスプラズマの分光計測:蛙原 健治・・・106
3.4 RF放電プラズマの診断とモデリング:真壁 利明・・・111 

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