「放電研究」 第146号 (平成6年11月)

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特集:表面改質・新材料形成におけるイオンの役割
講演
表面改質・新材料形成におけるイオンの役割:高木俊宜……1
リアクティブ・イオンエッチヤーと正負イオンの働き:中野誠彦・真壁利明……24
マグネトロン放電プラズマのターゲット入射イオン電流について:藤山寛・斐W鏡供帖蝶1
真空アークプロセスにおけるイオンの・特性と表面反応メカニズム:榊原建樹・榊守……1
蒸着による薄膜形成に及ぼすイオンビームのホスト、アシストとしての役割:-鈴木泰雄・緒方潔……50
放電研究グループ苦手セミナー・研究紹介
気流中における負コロナパルスの変動特性:穴井徳成・奥村克夫・河村達雄……60
ニューラルネットワークの認識による
負荷の種類と台数の評定:小林久夫・曽禰元隆……64
湿潤・汚損面における局部放電のモデル化に関する研究:山下敬産・大石浩司・仏坂芳彦・松尾寿夫……69

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