放電学会誌「放電研究」

「放電研究」第１５４号 (平成９年６月) 特集：放電を利用する立場から見た気流の効果 目　　　　次
特集: １．負イオン移動度測定におけるガスの流れ効果：林喬久，伊藤晴雄・・・１; ２．RF放電のガス流量によるイオン種の強度変化：石川稜威男、廣瀬友嗣、佐々木伸也，永関一也、斉藤幸典、菅ノ又伸治・・・９; ３．レーザー放電の発振効率の向上における気流の効果 : 高木茂行・・・１８; ４．無声放電励起オゾナイザ，CO2レーザにおけるガス流の影響 : 葛本昌樹・・・２８; ５．プラグフロー型反応槽によるパルス放電プラズマ重合のガス流量効果 : 森田慎三・・・３６; ６．低周波プラズマCVDによる堆積薄膜のガスフロー依存性 : 下妻光夫、伊達広行、田頭博昭・・・４４; ７．半導体プロセスの処理速度におよぼす気流の効果 : 辻本和典、田地新一・・・５３; ８．半導体プロセスにおける気流の効果 : 南部健一、末谷正晴・・・６３; ９．エンジン排ガスのプラズマ処理における流量効果：東學、藤井寛一・・・７３
若手セミナー: Krの励起衝突断面積についての考察：福山達也・・・７７
1996年度第１回～第６回放電研究グループ拡大幹事会・委員会議事録・・・８１