特集:「新材料開発への放電応用」
目 次
新材料開発への放電応用
レーザーアブレーションによる難加工材料の精密微細加工 : 杉岡 幸次、緑川 克美……13
粉体を用いたプラズマの発生とその応用 : 石井 彰三、川崎 圭厚、石原 秀俊、野澤 秀、井深 真治、安岡 康一…23
パルスイオンビームの材料への応用 : 八井 洋、江 偉華……31
プラズマイオン注入の三次元基材への適用 : 行村 建……39
最近のアークプラズマによる表面開発技術と応用 : 鈴木 泰雄、緒方 潔……49
プラズマCVDによるシリコン系薄膜生成技術………市川 幸美……59
a- Si TFT 製造工程におけるPVD・スパッタ装置…渡部 嘉…69
若手研究者の研究発表
自己組織課Mapによる絶縁油の劣化診断手法の開発 : 井上 智夫、奥村 克夫…81
プラズマによるアスベイトの無害化処理 ―ベンナイト混合と坩堝形状の効果― : 後町 仁士、森田 一成, 橋本 和明、岩尾 徹、稲葉 次紀
RF-PCVD法によるDLC成膜時のシース挙動について : 片倉 雅之, 吉田 仁紀 鈴木 薫…89
真空アークによる金属表面クリーニング現象の解明 : 久保 祐也・・91
pdの小さい領域におけるモンテカルロ・シュミレーション : 小曽戸 宏通…95
窒素・酸素混合気体中における負コロナ放電のオゾン生成特性 : 高倉 一千, 久米 文貴、早川 昌秋、関屋 昌久…99
PDPセル中の電子注入の実験とシュミレーション : 武井 敬二、伊藤 晴雄…101
NO-Ar混合気体中および純粋NO気体中における電子輸送係数の測定 : 竹内 大樹、中村 義春、林 眞…105
c-C4F8を含む混合ガスのガス絶縁特性 : 竹ノ下 経、山川 豊、小畑 賢司, 赤坂 大吾、山本 修、濱田 昌司、宅間 董…109