1．グロー放電有機薄膜の成長過程と電気物性 ： 家田正之（名大）・沢五郎（三重大）……1

2．プラズマ重合法による高分子薄膜の製造 ： 小林弘明（東レ．プラスチック研）……2

3．窒素アフタグロー中における電子の振舞とプローブによるその測定 ： 堤井信力（武蔵工大）……6

4．マイクロ波放電による原子状ラジカルの生成とその観測 ： 広瀬昌彦・小川一行（東芝総研）……15

5．低温灰化法の分析化学的応用 ： 穂積啓一郎（京都薬大）……21

6．最近のオゾナイザ反応 ： 鈴木桃太郎・岡崎幸子・杉光英俊（上智大理工）……25

7．オゾナイザ中のオゾン濃度分布と相似則 ： 鈴木節雄・赤井好美・小川一行（東芝総研）……30

8．最近のスパッタリング装置とその特性 ： 塚田勉・細川直吉・小林春洋（日電バリアン）……35

9・リアクティブ・スバッター・エプチング ： 花沢国雄・小林春洋（日電バリアン）……47