特集「2009年放電学会シンポジウム」
CONTENTS
Special Topics (2009 IEEDJ Symposium)
2009年放電学会シンポジウム
2009 IEEDJ Symposium
ArFエキシマレーザー 溝口計 ・・・1
Development of ArF excimer laser for lithography: Hakaru MIZOGUCHI
放電型軟X線レーザ 酒井雄祐、渡辺正人、堀田栄喜 ・・・7
Discharge pumped soft X-ray laser: Yusuke SAKAI, Masato WATANABE, Eiki HOTTA
EUVA プロジェクト 小川眞佐志 ・・・13
EUVA Project: Masashi OGAWA
放電励起型極端紫外光源の動作機構と課題 堀岡一彦 ・・・19
Basic operational principle of discharge driven extreme ultraviolet light
sources and their issues: Kazuhiko HORIOKA
放電型EUV光源の実験 渡辺正人、堀田栄喜 ・・・25
Experiments of discharge produced extreme ultraviolet light source: Masato WATANABE, Eiki HOTTA
レーザ生成プラズマEUV光源の理論解析 砂原 淳 ・・・31
Analysis of laser-produced plasma extreme untra-violet light source: Atsushi SUNAHARA
レーザ生成プラズマEUV光源の開発 小森 浩、住谷 明 ・・・40
Development of laser produced plasma EUV light source: Hiroshi KOMORI, Akira SUMITANI
論文
Paper
同軸円筒型バリア放電方式NO除去に対する初期ガス条件の影響 内藤 潤、向川政治、高木浩一、藤原民也、三浦友規 ・・・45
Influence of initial gas condition on NO removal in coaxial DBD reactor: Jun NAITO, Seiji MUKAIGAWA, Koichi TAKAKI, Tamiya FUJIWARA, Tomonori MIURA
擬火花放電プラズマジェット電極の幾何学的形状がイオン密度に及ぼす影響
鎌田貴晴、渡部政行、藤原民也 ・・・51
An effect of ion density on electrode geometrical shapes of a pseudo-spark
disharge plasma jet: Takaharu KAMADA, Masayuki WATANABE, Tamiya FUJIWARA
リレーエッセイ「私の英語勉強法」
Relay Essay -My way to study English-
菅原広剛 ・・・56
Hirotake SUGAWARA
大澤直樹 ・・・58
Naoki OSAWA
編集後記 ・・・60